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Nanotechnologies


Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL) INL

Directeur : Catherine BRU-CHEVALLIER
Responsable du site ECL : Christian SEASSAL, directeur adjoint de l'INL
Téléphone : +33 (0)4 72 18 60 43 - Fax : +33 (0)4 78 43 35 93

Compétences

Matériaux : hétéroépitaxie, nanostructuration, nanostructures, intégration multifonctionnelle sur Si, nanocaractérisation.
Electronique : micro-nanoélectronique, conception de circuits et systèmes on chip,
TCAD, MEMS-NEMS...
Photonique-Photovoltaïque : micro-nanophotonique, optoélectronique, M(N)OEMS…
Biotechnologie-Santé : nanobiotechnologies, micro-nano-biosystèmes, capteurs biomédicaux, vêtements intelligents,...

Equipements

L'INL dispose d'une Centrale de Technologie permettant la réalisation de composants microélectroniques et optoélectroniques, de microsystèmes et de biopuces.
Principaux équipements :

  • Une salle blanche équipée de lithographie optique et électronique, de moyens de métallisation, d'un réacteur de gravure ionique réactive et d'une plate-forme pour le micro-usinage chimique.
  • Deux réacteurs d'épitaxie par jets moléculaires pour III-V et deux réacteurs plasma pour le dépôt des diélectriques.
  • Equipements de caractérisation (électrique, optique, structurale, surfaces).
  • Moyens de calcul.